เครื่องล้างระบบอัลตร้าโซนิคแบบหัวฉีดจะปล่อยน้ำแบบเฉพาะจุดและจะทำความสะอาดด้วยการปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคผ่านน้ำจากปลายหัวฉีด เหมาะสำหรับการทำความสะอาดแผ่น Wafer, Hard Disk และ Single Wafer โดยน้ำที่ถูกปล่อยออกมาจะทำหน้าที่เป็นตัวกลางในการส่งคลื่นอัลตร้าโซนิคและขจัดคราบสกปรกให้หลุดลอกออกมาในเวลาเดียวกัน จึงทำให้แทบไม่มีโอกาสที่จะเกิดการเกาะติดซ้ำของอนุภาคได้ อีกทั้งยังสามารถติดตั้งกับไลน์การผลิตได้ง่าย

จุดเด่น

•  สามารถปล่อยคลื่นอัลตร้าโซนิคได้อย่างมีเสถียรภาพตามการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของน้ำและอุณหภูมิโดยรอบ
•  ไม่จำเป็นต้องตั้งค่าใดๆ บนเครื่องเจนเนอร์เรเตอร์ใหม่ขณะเปลี่ยนหัวฉีดจึงง่ายต่อการ Maintenance
• มีฟังก์ชั่นตรวจจับความผิดปกติ
•  รองรับการสื่อสารแบบ RS422A จึงสามารถเชื่อมต่อได้อุปกรณ์ภายนอกได้หลากหลาย